燒結(jié)法:?ITO靶材燒結(jié)制作法是在以銦錫氧化物共沉淀粉末或氧化銦和氧錫混合粉末為原料,加入粘結(jié)劑和分散劑混合后,壓力成型,貴金屬靶材報(bào)價(jià),脫脂,然后于1400℃---1600℃燒結(jié)。燒結(jié)法設(shè)備投入少,成本低,產(chǎn)品密度高、缺氧率低,尺寸大、但制造過(guò)程中對(duì)粉末的選擇性很強(qiáng)。
ITO靶制備的透明導(dǎo)電薄膜廣泛應(yīng)用于數(shù)碼相機(jī)、投影電視、數(shù)碼顯示的各種光學(xué)系統(tǒng)中,需求量都很大。
熱壓法:ITO靶材的熱壓制作過(guò)程是在石墨或氧化鋁制的模具內(nèi)充填入適當(dāng)粉末以后,以 100kgf/cm 2~1000kgf/cm 2的壓力單軸向加壓,貴金屬靶材技術(shù),同時(shí)以1000℃~1600℃進(jìn)行燒結(jié)。熱壓工藝制作過(guò)程所需的成型壓力較小,燒結(jié)溫度較低,燒結(jié)時(shí)間較短。但熱壓法生產(chǎn)的ITO靶材由于缺氧率高,氧含量分布不均勻,從而影響了生產(chǎn)ITO薄膜的均勻性,黑龍江貴金屬靶材,且不能生產(chǎn)大尺寸的靶。
鎢-鈦靶材作為光伏電池鍍膜材料是近發(fā)展起來(lái)的,它作為第三代太陽(yáng)能電池的阻擋層是佳選擇。
由于 W-Ti 系列薄膜具有非常優(yōu)良的性能,近幾年來(lái)應(yīng)用量急劇增加,2008年W-Ti 靶材世界用量已達(dá)到400t,隨著光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,這種靶材的需求量會(huì)越來(lái)越大。具行業(yè)預(yù)測(cè)其用量還會(huì)有很大的增加。國(guó)際太陽(yáng)能電池市場(chǎng)以的速度增長(zhǎng),目前世界有30 多公司參與太陽(yáng)能市場(chǎng)的進(jìn)一步開(kāi)發(fā), 并已有的公司產(chǎn)品投入市場(chǎng)。
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