航天技術(shù)的不斷發(fā)展, 泄漏問題已經(jīng)成為航天產(chǎn)品設(shè)計(jì)制造中必須考慮的關(guān)鍵因素,越來越多的收到各方關(guān)注,相關(guān)電子元器件漏率檢測(cè)已經(jīng)引起科研人員的高度重視,目前應(yīng)用檢漏技術(shù)的主要是為密封繼電器、集成電路外殼。.利用氫質(zhì)譜檢漏儀可以方便地對(duì)密封繼電器作漏率測(cè)定。針對(duì)不同的產(chǎn)品,采用合適的檢漏方法。目前密封繼電器的漏率檢測(cè)主要是GJB360A-96的112實(shí)驗(yàn)程序。
對(duì)檢漏方法的要求:穩(wěn)定性好,即可以在足夠長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)靈敏度;所用“示蹤氣體”在空氣中含量低,無毒,不腐蝕零件;氦質(zhì)譜檢漏主要領(lǐng)域:空調(diào)制冷工業(yè)——壓縮機(jī)、冷凝器、蒸發(fā)器及閥門等;真空科學(xué)與工業(yè)——泵、閥門、真空規(guī)管以及鍍膜機(jī)、真空爐等真空系統(tǒng);對(duì)于容積較小的部件,如波紋管、各種充氣接頭和氣管焊接件等,采用氦罩法被檢工件抽空,檢漏儀調(diào)到漏率(10-11Pa.m3/s),汽車行業(yè)檢漏廠商,然后對(duì)氦罩沖氦。
氦質(zhì)譜檢漏儀用于對(duì)容器或器件的密封性進(jìn)行檢測(cè),對(duì)被檢件泄漏點(diǎn)進(jìn)行定性、定量和定位的檢測(cè)。儀器利用內(nèi)置的真空系統(tǒng),將被檢氣體抽入到儀器內(nèi)部,然后將該混合氣體離化,并將離子加速送入磁場(chǎng)當(dāng)中,利用帶電離子在磁場(chǎng)中的偏轉(zhuǎn)效應(yīng),使氦離子與其它離子分離,通過對(duì)此氦離子信號(hào)的接收、放大和顯示,從而反映出被測(cè)器件的密封性。
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