電機溫度高某公司的300MW機組,每臺機組配備2臺機械真空泵,其中1臺運行,1臺備用。真空泵用于機組啟動時抽真空,正常運行時用于抽出凝汽器中未凝結的氣體。該泵配備電機160kW,轉速590r/min,額定電流330A,電壓380V,B級絕緣,正常運行時電流220~230A。每年夏季,電機溫度都會超限,加裝臨時冷卻風機,但收效不大。電機長期高溫運行會造成絕緣老化,縮短其使用壽命。
流量單位時間流過任意截面的氣體量,符號用“Q”表示,單位為帕·升/秒(Pa·L/s)或托·升/秒(Torr·L/s)。流導表示真空管道通過氣體的能力。單位為升/秒(L/s),在穩(wěn)定狀態(tài)下,管道流導等于管道流量除以管道兩端壓強差。符號記作“U”。標準大氣壓壓強為每平方厘米101325達因的氣壓,符號:(Atm)。極限真空真空容器經充分抽氣后,穩(wěn)定在某一真空度,此真空度稱為極限真空。通常真空容器須經12小時煉氣,再經12小時抽真空,一個小時每隔10分鐘測量一次,取其10次的平均值為極限真空值。
分子泵:分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用,既提高了生產效率又改善了膜層質量。隨著中國半導體工業(yè)、薄膜產業(yè)和科學研究事業(yè)迅速發(fā)展,分子泵應該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。首先,分子泵要從小到大建立完整系列,以滿足不同場合的需要。
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