真空的定義真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)真空度處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度,通常用“真空度高”和“真空度低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思,真空度低表示真空度“差”的意思。真空度單位通常用托(Torr)為單位,國際上取用帕(Pa)作為單位。1托=1/760大氣壓=1毫米柱托與帕的轉換1托=133.322帕 或 1帕=7.5×10-3托平均自由程作無規(guī)則熱運動的氣體粒子,相繼兩次碰撞所飛越的平均距離,用符號“λ”表示。
氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出,借以達到抽氣目的的真空泵,這種泵基本上有兩種類型:變容真空泵利用泵腔容積的周期性變化來完成吸氣和排氣過程的一種真空泵,氣體在排出前被壓縮。這種泵分為往復式及旋片式兩種:(1) 往復式真空泵:是利用泵腔內活塞做往復式運動,將氣體吸入、壓縮并排出。因此,又稱為活塞式真空泵。(2) 旋片式真空泵:是利用泵腔內活塞做旋轉運動,將氣體吸入、壓縮并排出。
臥式泵的進氣口在上,排氣口在下。有時為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便,可將排氣口從水平方向接出,即進、排氣方向是相互垂直的。此時,排氣口可以從左或右兩個方向開口,除接排氣管道一端外,另一端堵死或接旁通閥。這種泵結構低,高速運轉時穩(wěn)定性好。一般大、中型泵多采用此種結構。真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許,應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。
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